Analys av bearbetningsobjekt
Material: kvartsglas av optisk kvalitet
Bearbetningsfunktioner: multi-ytkonturslipning (inklusive 3 asymmetriska fasetter)
Nyckeldimensioner: 16×16×10 mm (fel ±0,002 mm)
Detta kvartsprisma, som bara är lika stort som en fingernagel, är det centrala ljusets-ledande elementet i det optiska systemet i en inhemsk hög-litografimaskin. Dess 8 komplexa krökta ytor måste uppnå 99,6 % transmittans och brytningsnoggrannhet på nanometernivå-, och ytjämnheten påverkar direkt exponeringsupplösningen för litografimaskinen.
Smärtpunkter i branschen och tekniska svårigheter
Ett optiskt teknikföretag stötte på en flaskhals i kvartsprismabearbetning när de främjade lokaliseringen av litografimaskiner:
Traditionella slipdefekter: Grovheten efter manuell polering når fortfarande Sa 120nm, vilket resulterar i 15 % ljusspridningsförlust
Utrustningsberoende av import: Kostnaden för en enda japansk ultra-precisionskvarn överstiger 20 miljoner yuan, och leveranstiden är så lång som 18 månader
"avkastningskris".: Endast 32 av den första omgången av 500 testproduktioner uppfyllde standarderna, vilket på allvar drar ner projektets framsteg
Dilemmat "har inte råd med importerad utrustning och inhemska processer är inte bra" blockerade direkt processen för oberoende litografimaskinutveckling.
BISHENlösningars lösning
Som svar på de extrema precisionskraven för optiska komponenter har BISHENs tekniska team utvecklat innovativ forskning och utveckling:
1. Ultraljudsbehandlingssystem för vertikal fem-axlar
Dynamisk kompensation på 2. 0.1μm-nivå, exakt kontroll av verktygsmaskiner med 18 axlar
3. Matchande asymmetrisk yta CAD/CAM intelligent programmering
4. Hög-högfrekvent ultraljudsassisterad slipteknik
5. 40kHz ultraljudsvibrationer minskar 52 % av skärspänningen och undviker kvartsmikroprickor
6. Diamantmikro-pulverslipskivans livslängd förlängs med tre gånger
Faktiskt uppmätta prestationssprång
Tre stora genombrott har uppnåtts i massproduktionen av en viss typ av inhemsk litografimaskinprisma:
1. Ytkvalitet: Grovhet Sa<70nm (better than ASML supplier standard)
2. Bearbetningseffektivitet: Arbetstimmar för enstaka-bitar komprimeras från 14 timmar till 3,5 timmar
3.Kostnadskontroll: Investeringen i utrustning är bara 1/5 av den importerade lösningen
Avkastningsgraden för den första satsen på 3 000 produkter steg till 98,7 %, vilket hjälpte kunderna att slutföra monteringen av prototyper 6 månader före schemat
omBISHEN
BISHENPrecision Technology (grundat 2017) fokuserar på att bryta igenom "flaskhalstekniken" inom området för avancerad tillverkning. Den har byggt en 7 500 kvadratmeter stor digital fabrik i Dongguan, utrustad med importerade utrustningskluster som t.ex. fem-axellänkar för bearbetning och ultra-optiska slipmaskiner med hög precision. Genom att tillämpa innovativa teknologier som ultraljudsbearbetning och kryogen skärning på halvledarutrustning, optoelektroniska instrument och andra områden, har det tillhandahållit nyckelkomponentbearbetningslösningar för mer än 20 inhemska kedjeföretag inom litografimaskinindustrin och har levererat mer än 500 000 optiska precisionskomponenter.
