Fallstudie: Genombrott inom bearbetning av kvartsglassubstrat
Bearbetningsobjekt: kvartsglassubstrat för fotolitografi
Specifikationer:
Material: 99,99 % hög-kvartsglas
Bearbetningsfunktioner: dubbel-sidig C0.2 fas + vertikal sidovägg
Ytkrav: Ra < 150nm (spegelklass)
Mått: 145×145×5,5 mm±0,01 mm
Analys av smärtpunkter för industribearbetning
Som förbrukningsmaterial för halvledartillverkning måste kvartsdelar för fotolitografi samtidigt uppfylla tre strikta standarder: materialtransmittans > 99,6 %, dimensionstolerans ±10 μm och sidoväggens ojämnhet Ra < 150 nm. Den traditionella bearbetningsmetoden använder slipskivans slipprocess, som har två stora industriproblem:
Effektivitetsflaskhals: enstaka-bearbetning tar upp till 120 minuter
Ytdefekter: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560 nm
Verktygsförlust: normal livslängd är mindre än 50 stycken
BISHENlösningar teknisk innovation
Med tanke på de hårda och spröda egenskaperna hos kvartsmaterial, en kompositbearbetningslösningantas:
• 20kHz ultraljudsprecisionsgravyr och fräsningssystem
• Inbyggd PCD-mikro-bladfräs (kant R0,05 mm)
• Axial skiktad skärprocess (2μm per lager)
Jämförelse av uppmätta bearbetningsfördelar
Genom processverifiering och jämförelse har nyckelindikatorer förbättrats avsevärt:
Industriapplikationsvärde
Denna lösning löste framgångsrikt bearbetningsproblemet med "flaskhals" i lokaliseringsprocessen av litografimaskindelar, vilket ökade produktionskapaciteten för kvartssubstrat från 10 stycken per dag till 50 stycken och bearbetningsgraden från 63 % till 98,5 %. Enligt upptäckten av Zeiss laserinterferometer är bearbetningsytans noggrannhet PV-värdet<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
OmBISHEN
Bishen Precisionspecialiserat på precisionsbearbetning av hårdvarudelar, med 7 500 kvadratmeter standardiserade verkstäder, och dess tjänster täcker flyg, medicinsk utrustning, industrirobotar och andra områden. Med förmågan att bearbeta komplexa strukturella delar och ISO-systemcertifiering ger det kunderna fullständiga-processlösningar från design och utveckling till massproduktion.
